CMEMS®技術
采用批量CMOS制造工藝生產(chǎn)基于MEMS的頻率控制器件
發(fā)布時間：2013-07-04 作者：www.te96.cn
摘要：本白皮書將主要介紹CMEMS工藝技術、目前的混合振蕩器架構和Si501/2/3/4（Si50x）CMEMS振蕩器架構。
CMEMS技術是由領先的時序解決方案供應商Silicon Labs開發(fā)的一種創(chuàng)新的CMOS+MEMS制造工藝。CMEMS是CMOS首字母和MEMS（微機電系統(tǒng)）的縮寫。CMEMS技術提供了許多超越傳統(tǒng)振蕩器制造方法的好處，包括可擴展性、客戶可編程性、0天樣品生成以及長期的可靠性和性能。本白皮書將主要介紹CMEMS工藝技術、目前的混合振蕩器架構和Si501/2/3/4（Si50x）CMEMS振蕩器架構。其它相關的主題白皮書，可瀏覽網(wǎng)站：www.silabs.com/cmems。
下載地址：http://images.planteng.cn/2013/07/04/SLAB13T1 CMEMS Technology white paper - FINAL2 - SC final_20130704132346.doc
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